[发明专利]适用于OVD沉积设备的在线清洗系统及方法在审
| 申请号： | 202010734185.4 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111921996A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 崔东明;孔明;伍淑坚 | 申请（专利权）人： | 烽火通信科技股份有限公司;武汉烽火锐拓科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B9/093 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 邱云雷 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及适用于OVD沉积设备的在线清洗系统及方法，清洗剂储罐上设有废气排放阀；第一管路两端连通于清洗剂储罐，沿清洗剂流向，第一管路上依次设有输送泵、第一清洗剂阀和第二清洗剂阀，第一管路位于第一清洗剂阀与第二清洗剂阀之间的管段断开，以形成分别连通蒸发器进口和加热料管出口的第一端口和第二端口；气体吹扫装置通过吹扫进气阀连接于第一管路上，并位于第一清洗剂阀下游；控制装置与废气排放阀、输送泵、第一清洗剂阀、第二清洗剂阀、气体吹扫装置和吹扫进气阀相连，并控制废气排放阀、输送泵、第一清洗剂阀、第二清洗剂阀、气体吹扫装置和吹扫进气阀工作。本申请能解决相关技术中无法快速有效地清除粘稠硅油或弹性凝胶的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 ovd 沉积 设备 在线 清洗 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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