[发明专利]双斐索腔动态短相干干涉测量装置及方法有效
| 申请号： | 202010735522.1 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111929036B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 李建欣;宗毅;段明亮 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱炳斐 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双斐索腔的动态短相干干涉测量装置及方法，该装置包括：用于产生两对正交偏振光的双斐索腔短相干照明系统，用于对正交偏振光扩束准直的扩束系统，用于构成s波斐索干涉腔和p波斐索干涉腔的双斐索干涉腔，用于对反射光束准直缩束的准直系统，用于调节双斐索干涉腔反射光束中s波的传播方向的s波通道，用于调双斐索干涉腔反射光束中p波的传播方向的p波通道，用于分离s波斐索干涉腔和p波斐索干涉腔的反射光束的分光系统，用于获取双斐索腔的干涉信息，并对待测面成像的成像系统。本发明能有效降低环境振动对波前测量的影响，且具有测量精度高、速度快等优点，可有效用于复杂环境下对光学面形的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 双斐索腔 动态 相干 干涉 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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