[发明专利]一种防变形钛靶材在审
| 申请号： | 202010736252.6 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111705301A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种防变形钛靶材，所述靶材包括背板以及与所述背板连接的溅射部，所述溅射部尺寸小于所述背板的尺寸，所述背板边缘设置有至少两个安装台阶孔，所述安装台阶孔包括沉孔以及底孔，所述沉孔的深度与所述底孔的深度的比例为1.25～1.55。所述靶材在使用后变形性小，易拆卸，且使用过程中无打火现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变形 钛靶材 | ||
【主权项】：
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