[发明专利]一种用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法有效
| 申请号： | 202010737221.2 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111856430B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 许高斌;杜林云;花翔;马渊明;陈兴;于永强 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481;G02B26/10;G02B26/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机电技术领域，具体涉及用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法。MEMS扫描镜包括透明的玻璃盖帽、旋转扫描镜本体和硅基底；旋转扫描镜本体包括包括方形的微镜、第一S型扭转梁、第二S型扭转梁、长方形的内层框架和长方形的外层框架；外层框架同轴套设在内层框架外，且内层框架的两端分别通过第一S型扭转梁连接着外层框架；微镜两端均依次通过直连接梁、第二S型扭转梁对应连接着内层框架，使得微镜活动安装在内层框架的中部；通过向梳齿电极层、上电极和下电极施加驱动电压，使得所述微镜可在活动腔内旋动。本发明的制备方法采用体硅加工工艺和基于SOI硅‑玻璃键合技术完成对MEMS扫描镜的制造与封装加工效率高、重复性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光雷达 双层 梳齿 驱动 mems 扫描 制备 方法 | ||
【主权项】：
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