[发明专利]一种可编码阵列式静电偏转器、聚焦偏转系统及设计方法有效
| 申请号： | 202010738885.0 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN112071732B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 胡航锋;康永锋;赵静宜;常飞浩;赵玉清 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26;H01L21/67 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可编码阵列式静电偏转器、聚焦偏转系统及设计方法，通过采用多个静电偏转器子单元沿轴向阵列安装组成，该设计方法在磁聚焦透镜轴上磁场分布给定后，采用高斯拟合与最小二乘法确定每个子偏转器单元的激励权重系数，根据权重系数调节每个子偏转器单元的实际激励大小，改善聚焦偏转系统变轴条件的匹配程度，降低偏转像差，从而更好地解决大扫描偏转范围和高分辨率的矛盾问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 编码 阵列 静电 偏转 聚焦 系统 设计 方法 | ||
【主权项】：
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