[发明专利]基于振镜快速扫描的大面积表面缺陷光学检测系统及方法有效
| 申请号： | 202010739423.0 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111912854B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 杨华;尹周平;胡家乐;李俊逸 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88;G02B26/10 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 孔娜;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于表面缺陷检测领域，并具体公开了一种基于振镜快速扫描的大面积表面缺陷光学检测系统及方法，其包括硬件部分和软件部分，其中：硬件部分包括相机成像模块和扫描振镜模块，相机成像模块用于采集物体表面图像；扫描振镜模块包括两个旋转轴相互垂直的振镜；软件部分包括扫描振镜控制模块、相机成像控制模块、缺陷智能检测模块、判断输出模块，扫描振镜控制模块用于控制振镜的旋转角度；相机成像控制模块用于设置相机成像模块参数；缺陷智能检测模块用于进行图像缺陷检测；判断输出模块用于对缺陷图像中缺陷类型进行标注和分类。本发明可提升大面积表面缺陷检测的检测速度、精度，减小大规模缺陷检测错误率，提升产品的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 快速 扫描 大面积 表面 缺陷 光学 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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