[发明专利]吹扫装置在审

专利信息
申请号: 202010740174.7 申请日: 2020-07-28
公开(公告)号: CN111725357A 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 胡广豹;齐文龙;章伟冠;苏世杰;王秀鹏 申请(专利权)人: 成都晔凡科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 刘迎春
地址: 610041 四川省成都市高新区*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及一种吹扫装置。吹扫装置包括主管道和多个吹扫端头。多个吹扫端头沿第一方向排布在主管道上,并且每一个吹扫端头内均具有沿垂直于第一方向的第二方向贯穿吹扫端头的吹扫端头导气通道、和主管道导气通道连通的吹扫端头第一端口、位于吹扫端头的远离主管道的一端的吹扫端头第二端口,吹扫装置被构造为能够通过吹扫端头第二端口向外界排气或从外界抽气,并且,吹扫端头第一端口的垂直于第二方向的径向面积大于或等于吹扫端头第二端口垂直于第二方向的径向面积。本发明的吹扫装置的整体设计符合流体力学,使得气体能够均匀、可控、稳定地经由吹扫端头喷出,各个吹扫端头喷出的气体不会相互影响,并整体形成风幕。
搜索关键词: 装置
【主权项】:
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