[发明专利]一种晶体生长过程中生长溶液浓度的在线检测方法有效
| 申请号： | 202010741102.4 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111855490B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 潘丰;朱振新 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | G01N9/36 | 分类号： | G01N9/36;G01N9/26;G01D21/02;C30B7/08;C30B29/14 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 刘秋彤;梅洪玉 |
| 地址： | 214122 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶体生长过程中生长溶液浓度的在线检测方法，属于生产过程控制领域。生长溶液浓度的在线检测装置由安装在育晶罐侧面的隔膜式差压变送器和安装在育晶罐顶部的测量育晶罐中生长溶液高度的超声波液位计组成。载晶架旋转停止时，通过在线检测生长溶液的温度、差压和液位，间接计算得到生长溶液浓度，根据生长溶液浓度来对降温速率进行调整，以维持晶体稳定的生长速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 过程 生长 溶液 浓度 在线 检测 方法 | ||
【主权项】：
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