[发明专利]靶材中间料及其形成方法和实现该形成方法的装置有效
| 申请号： | 202010742327.1 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111850489B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 韩刚;程兴德;韩启航 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃先进金属材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C16/26;C23C16/513 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 215506 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种靶材中间料及其形成方法和实现该形成方法的装置，靶材中间料的形成方法包括：提供等离子体炬，所述等离子体炬内具有等离子体；向所述等离子体炬内通入含碳气体及靶材原料，所述含碳气体裂解形成碳颗粒，所述碳颗粒在所述靶材原料表面形成还原层，所述还原层及所述靶材原料形成靶材中间料。本发明实施例有助于在靶材原料形成还原层，而且还原层具有高化学活性，便于后续对所述靶材原料进行脱氧处理。 | ||
| 搜索关键词： | 中间 料及 形成 方法 实现 装置 | ||
【主权项】：
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