[发明专利]一种研磨悬浮剂及其制备方法和应用、研磨剂有效
| 申请号： | 202010742370.8 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111777987B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王廷梅;张耀明;陶立明;王齐华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 马小星 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种研磨悬浮剂及其制备方法和应用、研磨剂，属于研磨悬浮剂技术领域。本发明中，润湿分散剂能够增加磨料颗粒的亲水性，促进磨料颗粒在水中的分散性；碱性酸度改性剂能够提供碱性条件，提高悬浮稳定剂的溶解性；悬浮稳定剂的加入能够提高磨料颗粒的悬浮性能和稳定性，通过限定悬浮稳定剂的重量百分比为3～6％，提高了悬浮稳定剂的含量，有利于提高悬浮时间；pH调节剂能够保证研磨悬浮剂的pH值为6.8～7.3，确保了研磨悬浮剂在实际使用时的性能，避免对抛光基片的腐蚀和侵蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 悬浮 及其 制备 方法 应用 研磨剂 | ||
【主权项】：
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