[发明专利]一种MEMS流量传感芯片及其制造方法和流量传感器有效
| 申请号： | 202010747126.0 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111964742B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 黄立基 | 申请（专利权）人： | 矽翔微机电系统（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/86 | 分类号： | G01F1/86 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 王献茹 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS流量传感芯片及其制造方法和流量传感器，涉及流量测试领域，为解决现有热式质量流量传感芯片容易受到气体组分变化的影响，导致此类流量传感器应用受到限制的问题而设计。该MEMS流量传感芯片包括基体和设置于基体的多个传感元件，多个传感元件包括量热元件、飞行时间感测元件和风速感测元件，基体设置有加热元件，加热元件用于为飞行时间感测元件、量热元件和风速感测元件提供热量，飞行时间感测元件被配置为计量流体的体积流量和流体的热物性值，量热元件和风速感测元件被配置为计量流体的质量流量和流速。本发明提供的MEMS流量传感芯片及流量传感器在测量质量流量过程中可同时测量气体的热物性、流速和体积流量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 流量 传感 芯片 及其 制造 方法 流量传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于矽翔微机电系统（上海）有限公司，未经矽翔微机电系统（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010747126.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
