[发明专利]一种清洗装置在审
| 申请号： | 202010748087.6 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN112139092A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 郑帅;史霄;舒福章;郑慧曦 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B9/093;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 康艳艳 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及CMP后清洗设备技术领域，具体涉及一种清洗装置，包括：箱体，其底部设有排水口；晶圆清洗设备，设置在所述箱体内；喷淋结构，设置在所述箱体内，适于对所述箱体的内壁喷洗。通过在箱体内设置喷淋结构，喷淋结构适于对箱体的内壁喷洗，可在晶圆清洗设备工作过程中，对箱体内壁喷淋清洗，无需停机，能够将箱体内壁上粘附的颗粒冲掉，避免造成二次污染，清洗后的水经箱体底部的排水口排出，清洗效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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