[发明专利]等离子体天线模组及等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202010749845.6 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111952142B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 金亨源;李允诚;郑熙锡 | 申请（专利权）人： | 吉佳蓝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;玉昌峰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及等离子体天线模组及等离子体处理装置。本公开的一实施例的等离子体天线模组包括：等离子体天线；接地部，电连接于等离子体天线的一侧；电源供应部，向等离子体天线的另一侧供应电源；以及迂回部，介于等离子体天线和电源供应部之间或者等离子体天线和接地部之间。迂回部包括位于第一路径上的彼此连接的多个接点。在多个接点中2个以上的接点附加地彼此连接的情况下，迂回部形成与第一路径不同的第二路径。迂回部根据包括在第二路径中的接点的数量，控制向等离子体天线流入的电流值。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 天线 模组 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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