[发明专利]一种可扩展的可控等离子体激励功率源有效
| 申请号： | 202010749991.9 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111952736B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 孙海龙;徐跃民;丁亮;霍文青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院国家空间科学中心 |
| 主分类号： | H01Q25/04 | 分类号： | H01Q25/04;H01Q23/00;H01Q21/00 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;武玥 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于等离子体激励电源的控制技术领域，具体地说，涉及一种可扩展的可控等离子体激励功率源，耦合环(3)套设在天线(1)上，套设有耦合环(3)的天线(1)插入激励腔体(2)；所述可控等离子体激励功率源包括一个控制器和多个与控制器相连接的激励功率源；多个激励功率源进行级联，一个激励功率源连接一个天线子阵，每个天线子阵包括多个等离子体天线，多个天线子阵组成天线阵；所述控制器，用于调节每个激励功率源的激励频率和激励功率；所述激励功率源，用于根据输出功率激励其连接的等离子体天线中的天线，从而动态重构每个等离子体天线，使其连接的天线子阵之间能够采用多种不同的工作模式工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩展 可控 等离子体 激励 功率 | ||
【主权项】：
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