[发明专利]一种基于热电材料的光探测器在审
| 申请号： | 202010750747.4 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111854943A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;H01L35/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528458 广东省中山市中山火炬开发区中心城区港*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于热电材料的光探测器，第一薄膜层置于衬底上，热电材料部置于第一薄膜层上，微纳结构阵列层设置于热电材料部内，微纳结构阵列层与第一薄膜层不接触，微纳结构阵列层平行于第一薄膜层，微纳结构阵列层包括单层周期性排列的微纳结构，导电薄膜层置于热电材料部的顶面。应用时，导电薄膜层和第一模板层连接电极，待测光从导电薄膜层一侧照射。光穿透导电薄膜层和热电材料部，被第一薄膜层和微纳结构阵列层吸收并产生热，热电材料部中的温度差造成了晶格结构极化，从而导致热电材料部产生电场，通过探测该电场实现光探测。由于微纳结构阵列层和第一薄膜层具有更强的光吸收能力，所以本发明具有光探测灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 热电 材料 探测器 | ||
【主权项】：
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