[发明专利]一种小尺寸光探测器在审
申请号: | 202010750799.1 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN111854944A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中山科立特光电科技有限公司 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;H01L35/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528458 广东省中山市中山火炬开发区中心城区港*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及光探测领域,具体提供了一种小尺寸光探测器,热电材料部为桶形,微纳颗粒设置在热电材料部的内壁和内底面上,石墨烯层包覆热电材料部的外壁和顶面,源极和漏极分别设置在热电材料部顶面的石墨烯层上。应用时,待测光照射热电材料部,光被耦合进入热电材料部的内部后,被微纳颗粒吸收并转化为热,热电材料部内部与外部的温度差造成了晶格结构极化,从而导致热电材料部产生局域电场;该电场改变石墨烯层的导电特性,根据石墨烯层的导电特性变化,实现光探测。本发明中,热电材料部的尺寸小,能够实现小空间光探测。另外,本发明还具有灵敏度高和空间分辨率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 探测器 | ||
【主权项】:
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