[发明专利]传感器设备和检测气体中的成分的方法在审

专利信息
申请号: 202010752597.0 申请日: 2016-06-27
公开(公告)号: CN111896494A 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 克里斯廷·B·哥理法森;汉斯·索尔斯特罗姆;弗洛里亚·奥托尼奥·布莱亚诺;戈兰·斯泰默 申请(专利权)人: 森尔公司
主分类号: G01N21/3504 分类号: G01N21/3504
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 张瑞;杨明钊
地址: 瑞典代*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及传感器设备和检测气体中的成分的方法,传感器设备包括限定基底平面(4)的平面基底(3)和用于引导电磁波的波导(2)。波导(2)在平行于基底平面(4)的波导平面(4’)中在长度方向上延伸,并具有宽度(W,w)和高度(h),其中宽度(W,w)与高度(h)的比大于5。波导(2)的高度(h)小于电磁波的波长。波导(2)由沿着波导(2)的长度方向从基底(3)延伸到波导(2)的支撑结构(5)支撑在基底(3)上,支撑结构(5)具有的宽度(Ws)小于波导(2)的宽度(W,w)。本发明还涉及检测气体中的成分的方法和制造传感器设备(1)的方法。
搜索关键词: 传感器 设备 检测 气体 中的 成分 方法
【主权项】:
暂无信息
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