[发明专利]一种基于LSPR效应的温度传感器及其制备、检测方法有效
| 申请号： | 202010752808.0 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111854979B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 马向超;贺伟明;张建奇;雍鑫;见超超;李金泽;叶云龙;崔俊涛 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01J5/58 | 分类号： | G01J5/58;G01J5/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710071 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于LSPR效应的温度传感器及其制备、检测方法，温度传感器包括金属纳米球和透明基体，所述透明基体的表面开槽并将金属纳米球嵌入固定，金属纳米球的上半部分高出透明基体的表面；所述金属纳米球的一侧设置有激光发生器，另一侧设置有光谱仪，激光发生器发射的激光穿过金属纳米球被光谱仪接收，光谱仪进行光谱测量，通过显示吸收峰的位置判断环境温度。制备方法包括首先采用刻蚀工艺在透明基体的表面开设用于放置金属纳米球的凹槽；然后将纯净的金属纳米球放置在透明基体的凹槽上并固定。本发明能够直接放置在待测环境中，不受各种恶劣环境的限制，实现实时高效的远距离、非接触测温过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 lspr 效应 温度传感器 及其 制备 检测 方法 | ||
【主权项】：
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