[发明专利]一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置及其使用方法有效
| 申请号： | 202010753291.7 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111863597B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 雷晓宏 | 申请（专利权）人： | 固安浩瀚光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;B08B3/04 |
| 代理公司： | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人： | 王振佳 |
| 地址： | 065500 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置及其使用方法，涉及半导体陶瓷生产处理技术领域。包括内洗搭载基台，内洗搭载基台的一端通过螺钉固定有三个步进电机。本发明专利通过转动输出调节结构和自动陶瓷装夹结构的配合设计，使得装置便于完成对半导体陶瓷的自动防破损分批次装夹，避免了装夹过程中的人力锁紧和装夹接触破损，并通过转动输出调节完成一体的带动便于完成多个方向的上料及搅拌清洁和离心甩干；且通过循环净化清洁用水结构的设计，使得装置便于完成对清洁用水的多段式净化处理，使得清洗过程中节省大量的水资源并避免了混杂工业污染的水直接排出，提高装置的使用经济效益和环境保护性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 陶瓷 表面 污垢 清洗 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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