[发明专利]一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置有效
| 申请号： | 202010757803.7 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111895934B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 郝群;胡摇;石峰;宋辞;谢凌波 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学;中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置，在不改变原干涉仪光路的前提下实现之前不可测量的局部陡度面形误差的测量。利用双光楔补偿器，放置在在局部陡度面形误差的区域，旋转双光楔补偿器的相对转角和整体绕光轴滚转角，产生方向可调的附加倾斜补偿相位，使局部测量光束与局部面形匹配，干涉条纹变稀疏，利用干涉仪测量局部相位；根据双光楔补偿器的旋转角度计算其引入的相位，输入虚拟干涉仪模型，计算得到局部面形误差；对被光学元件所有无法直接测量的局部依次进行上述测量过程，直到所有局部陡度面形误差均完成测量；将局部面形误差与光学元件全口径面形误差数据进行拼接，完成测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 表面 局部 陡度 误差 干涉 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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