[发明专利]一种悬浮刻蚀制备氧化铝纳米通孔输液器滤膜的方法在审
申请号: | 202010759044.8 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN112023722A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 蒋开;朱学林 | 申请(专利权)人: | 常州费曼生物科技有限公司 |
主分类号: | B01D71/02 | 分类号: | B01D71/02;B01D67/00;B01D69/02;B82Y40/00 |
代理公司: | 常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙) 32338 | 代理人: | 徐琳淞 |
地址: | 213000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种悬浮刻蚀制备氧化铝纳米通孔输液器滤膜的方法,包括以下步骤:S1,制备阳极氧化铝盲孔膜;S2,在刻蚀槽内布置支撑装置,支撑装置的顶端接近刻蚀槽的溢流液面,然后将阳极氧化铝盲孔膜正面朝上放置于支撑装置上;S3,在阳极氧化铝盲孔膜的外围布置限位装置;S4,刻蚀槽的刻蚀液进液装置开启,在刻蚀液浮力的作用下,阳极氧化铝盲孔膜将被刻蚀液托起;S5,启动湿法刻蚀过程;S6,刻蚀结束后,得到氧化铝纳米通孔输液器滤膜,回落溢流刻蚀液,氧化铝纳米通孔输液器滤膜降至支撑装置上。本发明无需复杂的密封夹具,即可实现单面刻蚀残留铝层和氧化铝阻挡层,刻蚀液的选择不受限制,且能够避免损坏氧化铝纳米通孔输液器滤膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 悬浮 刻蚀 制备 氧化铝 纳米 输液 滤膜 方法 | ||
【主权项】:
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