[发明专利]一种图像传感器像素阵列结构及制作方法

摘要

本发明提供一种图像传感器像素阵列结构及制作方法，结构包括像素晶圆和逻辑晶圆，其中，所述像素晶圆包括：硅基感光像素阵列，用于接收入射光以转换成电信号；深隔离结构，位于相邻硅基感光像素之间的，用于所述相邻硅基感光像素之间的光学隔离和电学隔离；硅基微透镜阵列，位于硅基感光像素阵列的上方，与所述硅基感光像素阵列自成一体，用于会聚入射光进入所述硅基感光像素阵列；钝化层，沉积于所述硅基微透镜阵列，用于保护硅基微透镜阵列；所述逻辑晶圆，包括互补金属氧化物半导体器件，用于处理来自所述硅基感光像素阵列的电信号。消除传统有机微透镜和硅基感光像素之间的折射率差，减少微透镜阵列和感光像素阵列界面处的入射光反射损失。