[发明专利]一种高纯锗烷的纯化生产工艺及其生产系统在审
| 申请号： | 202010760970.7 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111777040A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 曹小林;裴友宏;何西;程紧 | 申请（专利权）人： | 江西华特电子化学品有限公司 |
| 主分类号： | C01B6/06 | 分类号： | C01B6/06;B01D53/78;B01D53/62;B01D53/26;B01D53/02;B01D53/00 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 朱培祺;单蕴倩 |
| 地址： | 332000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种高纯锗烷的纯化生产工艺及其生产系统，纯化生产工艺包括以下步骤：对吸附器填装吸附剂；配置碱性液体通入碱洗器；用氦气抽空置换多个系统容器和管道，并活化吸附器；将冷凝器和冷阱预冷冻；将锗烷粗品脱除二氧化碳杂质；锗烷粗品脱除水分；锗烷粗品进入吸附器中深度脱除杂质；锗烷粗品在冷阱中分离锗烷和氢气；锗烷粗品冷阱内深度脱除杂质；收集得到高纯锗烷。纯化生产系统，包括：锗烷生产系统和锗烷纯化系统；锗烷纯化系统包括：碱洗器、冷凝器、1#吸附器、2#吸附器和冷阱；本方案一种高纯锗烷的纯化生产工艺，其方法简单和易于操作，能制备高纯度5.5N锗烷，克服了现有技术中制备高纯度锗烷需要投资大、效率低和纯度低等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 纯化 生产工艺 及其 生产 系统 | ||
【主权项】：
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