[发明专利]全基于激光诱导石墨烯工艺的自供能传感微系统有效
| 申请号： | 202010761347.3 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111879341B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张海霞;王浩彬;宋宇;崔进京;陈学先 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01D5/16 | 分类号： | G01D5/16;G01D5/24 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人： | 黄晓军 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种全基于激光诱导石墨烯工艺的自供能传感微系统。包括：LIG储能元件层、PI衬底层和LIG功能及采能元件层，PI衬底层作为LIG储能元件层、LIG功能及采能元件层天然的结构连接层与电学绝缘层，将LIG传感功能元件和LIG采能元件制备在系统的正面，将LIG储能元件制备在系统的背面，利用LIG穿孔机制保证系统正反面元件的有效互连。PI衬底层作为激光诱导前驱体，对传感功能元件、采能元件和储能元件分别选取特异性的参数进行LIG电极诱导。本发明的系统利用单步激光诱导PI衬底获取LIG的方式，并结合LIG优异的物理化学性能，实现了包括传感元件、采能元件、储能元件、系统互连线等全套传感微系统组件，实现了便携式电子设备工艺层面与性能层面的集成化。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 诱导 石墨 工艺 自供 传感 系统 | ||
【主权项】：
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