[发明专利]一种显影喷头在审
| 申请号： | 202010763107.7 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111856893A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 徐权锋 | 申请（专利权）人： | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 吴圳添 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种显影喷头，其结构包括第一固定块，本发明通过设置辅助机构于第一固定块下端，通过掰动三个夹块与三个扭力弹簧进行配合工作，从而使得夹块张开与外部件进行固定，达到了防止喷头掉落，避免影响工作效率的优点，通过设置固定装置于第一固定块前端中部，通过转动螺纹杆插入至限位槽中，使得弹簧顶出使得凸块对固定槽进行限位固定，达到了便于对辅助机构进行辅助工作的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 喷头 | ||
【主权项】：
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