[发明专利]一种新型的AlGaN基紫外LED外延结构有效
| 申请号： | 202010763404.1 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111769186B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 周启航 | 申请（专利权）人： | 佛山紫熙慧众科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/32;H01L33/20;H01L33/00 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;唐敏珊 |
| 地址： | 528226 广东省佛山市南海区狮山镇罗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型的AlGaN基紫外LED外延结构，包括自下而上设置的金刚石/氧化锌复合柔性衬底、III族氮化物异质结构、金刚石/III族氮化物异质结构、III族氮化物异质有源区发光结构、p型III族氮化物异质结构，所述金刚石/氧化锌复合柔性衬底采用超晶格结构；本技术方案中，通过在III族氮化物异质结构与III族氮化物异质有源区发光结构之间设置金刚石/III族氮化物异质结构，金刚石/III族氮化物异质结构利用金刚石/氧化锌复合柔性衬底的超晶格的折射率差提高紫外波段的光子的反射，从而提高LED器件的光输出功率和可靠性，最终推动AlGaN基紫外LED器件的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 algan 紫外 led 外延 结构 | ||
【主权项】：
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