[发明专利]基于Si衬底的N极性面富Al组分氮化物材料生长方法在审
| 申请号： | 202010763410.7 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111863599A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 周启航 | 申请（专利权）人： | 佛山紫熙慧众科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L33/32 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;唐敏珊 |
| 地址： | 528226 广东省佛山市南海区狮山镇罗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于Si衬底的N极性面富Al组分氮化物材料生长方法，其中，具体包括以下步骤：S1：在Si衬底的表面设置Si |
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| 搜索关键词： | 基于 si 衬底 极性 al 组分 氮化物 材料 生长 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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