[发明专利]一种电镜单电机驱动密封结构在审
| 申请号： | 202010766777.4 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN112198179A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏飞;魏江涛;张正锋;王宽;隋曼龄 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学;北京晨浩微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/20025 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 沈波 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电镜单电机驱动密封结构，包括电机驱动模块和真空腔室密封模块；电机驱动模块整体安装在真空转移台底座上，驱动电机通过齿轮传动带动传动丝杠旋转，丝杠螺母套推动密封板推动杆实现直线运动，使真空腔室密封模块的密封板开启或密封；密封升降安装板的底部压在密封升降凸轮板的表面；密封板推动杆与密封板铜套座相连接，密封板铜套座与密封板连接，用以密封板的水平横移；通过密封升降凸轮板的水平直线往复运动转换为密封升降安装板的竖直直线往复运动。本发明在密封过程中，通过单电机的控制，可实现升降密封腔室的升降与密封板的平移的联动，控制系统简单，稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电镜单 电机 驱动 密封 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京工业大学;北京晨浩微纳科技有限公司，未经北京工业大学;北京晨浩微纳科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010766777.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
