[发明专利]具有声学孔的体声波谐振器及组件、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 202010767546.5 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN112087216B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;杨清瑞;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/205;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；底电极；压电层；顶电极；声学镜，其中：压电层包括压电第一层和压电第二层，顶电极与压电第一层的上表面接触，所述谐振器还包括第一插入层，第一插入层为金属插入层，在谐振器的厚度方向上，所述第一金属插入层设置在压电第一层与压电第二层之间；所述谐振器还包括多个声学孔，所述声学孔穿过所述顶电极且至少部分进入到压电第一层中。本发明还涉及一种上述体声波谐振器组件，一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 声学 声波 谐振器 组件 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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