[发明专利]一种可调低刚度微机械加速度计有效
| 申请号： | 202010767739.0 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN111929469B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 马志鹏;张腾飞;金仲和;郭益轩;郑旭东;楼海君 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 郑海峰 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调低刚度微机械加速度计，属于加速度测量技术领域，包括加速度敏感模块、调谐模块、位移检测模块、力反馈模块。加速度敏感模块中质量块通过屈曲弹性梁与基板锚区相连，在加工过程中受内应力作用屈曲弹性梁发生形变，质量块突破自锁结构的约束边界，实现自锁，自锁后处于超柔性工作区间。利用梳齿电容和三角形栅电容调谐设计，实现加速度计的开环刚度可调。加速度计可以在开环和闭环工作方式下工作，其中，在开环工作下，通过位移检测模块检测质量块位移引起的电容变化进而检测外界加速度的变化，并且可以进一步利用力反馈模块栅电容完成闭环控制。本发明结构简单，灵敏度高，可应用于微弱加速度信号检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 刚度 微机 加速度计 | ||
【主权项】：
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