[发明专利]一种臭氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池制备领域，一种臭氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法，制备过程中，严格按制绒、扩散、正面重掺杂、臭氧化、背面去PSG、碱抛光、正面氧化、正面沉积氮化硅膜、背面沉积钝化膜、背面激光开孔、电极印刷、高温烧结、电注入的工艺步骤进行，其中，臭氧化步骤中，在常温下，在正面重掺杂区用臭氧进行氧化，形成1.0‑4.0nm致密的二氧化硅保护层，本发明通过采用臭氧化和碱抛光结合，有效防止了在传统碱抛光过程中表面磷松落导致的方阻上升问题，防止了电极印刷后银硅接触差，降低电池转化效率的问题。