[发明专利]一种石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010771739.8 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN111998932B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李成;刘欢;肖习;刘宇健 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;贾玉忠 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯波纹膜光纤F‑P(Fabry‑Perot)声压传感器及其制作方法，包括单模光纤(1)、光纤插芯(2)和石墨烯波纹膜(3)。所述的声压传感器以波纹状石墨烯膜为压力敏感单元，利用单模光纤传导激光，基于光纤F‑P干涉原理，实现薄膜挠度形变的高灵敏度探测。所述的石墨烯波纹膜相对于传统的圆平膜片，具有波纹状结构，因膜内应力释放，可有效提高薄膜压力‑挠度特性。本发明所述的声压传感器具有结构简单、体积小、高灵敏度、抗电磁干扰等优点，在航空航天、噪声测量、语音交互等声学探测领域具有重要的研究意义和应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 波纹 光纤 声压 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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