[发明专利]晶圆缺陷数据的聚类方法及装置在审
| 申请号： | 202010772001.3 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN114092379A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 金成浩 | 申请（专利权）人： | 新智数字科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06V10/762;G06V10/764;G06K9/62 |
| 代理公司： | 北京嘉科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11687 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 100020 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆缺陷数据的聚类方法、装置、计算机可读存储介质及电子设备，方法包括：提取获取的待检测晶圆图中的晶圆缺陷对应的缺陷数据点；在不指定聚类个数的前提下，对多个缺陷数据点进行聚类，以确定至少一个聚类簇以及至少一个离群数据点，聚类簇由若干个第一数据点或者由若干个第一数据点和若干个第二数据点形成，第一数据点为圆心所形成的圆形区域内的数据点个数不小于2，第二数据点为圆心所形成的圆形区域内的数据点个数为1，聚类簇中任意两个相邻数据点之间的距离不大于圆形区域的半径。本发明的技术方案，可检测离群数据点以及任意形式的缺陷模式，同时得到的聚类簇以及离群数据点不受数据布置顺序改变以及晶圆图旋转的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 数据 方法 装置 | ||
【主权项】：
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