[发明专利]蓝宝石晶棒中气泡缺陷自动化检测与精确定位装置及方法在审
| 申请号： | 202010772769.0 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN112033977A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张海涛;侯成成;乔铁柱;吕玉祥;杨效霞 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/95;G01N21/88 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 任林芳 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于蓝宝石晶棒气泡缺陷检测技术领域；现有的气泡检测与定位主要依靠人工，长时间在暗室检测，人眼易出现视觉疲劳，引发视力退化，检测质量下降，易发生气泡漏检的问题，人员手动标记检测效率低；本发明提供一种蓝宝石晶棒中气泡缺陷自动化检测与精确定位装置及方法，将蓝宝石晶棒放置在检测定位装置上，利用两个电机形成二维运动系统实现激光器的激光沿规划轨迹移动照射晶棒，相机拍摄晶棒图像，经过图像处理确定图像中的气泡缺陷形成的光斑的位置和大小，提高了晶棒轴向方向上的位置定位精度，为精确切割工序提供了可靠依据，有效提高了产品效益，提高了检测效率和检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 晶棒中 气泡 缺陷 自动化 检测 精确 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
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