[发明专利]一种精准推进探针的方法有效
| 申请号： | 202010773608.3 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN111856091B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 赵慧玲;白莹;郁彩艳;李世玉;尹延锋 | 申请（专利权）人： | 河南大学 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张真真 |
| 地址： | 475004 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种精准推进探针的方法，该方法能够对薄膜进行无损测量，尤其适用于半导体半导体薄膜，具体地，利用感应收缩簧的感应端超出导电弹性针头的一定距离进行测距，并根据测距结果控制推进速度和时间，且能够监测到探针与纳米级厚度薄膜的接触应力大小。该探针方法适合对半导体半导体薄膜进行无损、稳定、可重复的准确检测，同时也适合推广到其它薄膜材料的电学检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精准 推进 探针 方法 | ||
【主权项】：
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