[发明专利]一种防磕碰晶舟单元

摘要

本发明公开了一种防磕碰晶舟单元，包括舟体，所述舟体上成型有左右方向设置的槽道，槽道的内壁上成型有多个线性均布的凸筋，凸筋的上端面上成型有两个对称设置的卡槽，每个凸筋上的两个卡槽内套接有隔板，隔板的左侧壁和右侧壁上各成型有多个凸起；晶圆插套在相邻两个隔板的凸起之间；所述舟体的左侧壁上成型有两个连接芯轴；舟体的右侧壁上成型有两个分别与两个连接芯轴同轴心设置的连接孔，连接芯轴和连接孔过渡配合设置。本发明通过相邻两个隔板的凸起将晶圆夹持，可有效防止晶圆发生碰撞，且凸起与晶圆间通过点接触，可减少对晶圆表面的损伤；同时可以根据需要将该晶舟单元进行组合，组成不同槽数的晶舟。