[发明专利]一种仿生多层电容式柔性压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010775579.4 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN111780897A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 刘振泽;何井全;钱志辉;田彦涛;孙吉;梁亮;王成喜;程丽丽;王奎霖;于金良 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 朱世林 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种仿生多层电容式柔性压力传感器及其制备方法，属于仿生与传感器领域。包括：第一柔性基板、第一电极层、第一微结构层、双面阶梯仿生结构层、第二微结构层、第二电极层和第二柔性基板；第一电极层附着于第一柔性基板的微阵列结构内侧，第一微结构层的光滑侧与第一电极层相接触，第一微结构层的带有微结构侧与双面阶梯仿生结构层相接触，双面阶梯仿生结构层，处于传感器的中间位置，第二微结构层的光滑侧与第二电极层相接触，第二微结构层的带有微结构侧与双面阶梯仿生结构层相接触，第二电极层附着于第二柔性基板的微阵列结构内侧。本发明可提高传感器的灵敏度、压力检测下限，缩短响应时间，并且改善传感器的线性度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 仿生 多层 电容 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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