[发明专利]一种基于亚波长光栅超表面的热控相位调制器在审
| 申请号： | 202010778137.5 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN111897145A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 何赛灵;刘振超;郭庭彪;谭沁;董红光 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02F1/00;G02B6/124 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于亚波长光栅超表面的热控相位调制器，包括第一层底层的透明介质基底、第二层金属薄膜层、第三层介质薄膜层、第四层介质光栅层、第五层高折射率介质光栅层、第六层热光介质层；所述的介质光栅层和高折射率介质光栅层为周期性光栅阵列，光栅周期同为p，光栅占空比同为q，厚度分别为t1和t2，其中t1t2；所述的基于该亚波长光栅超表面结构的热控相位调制器存在一个高Q值共振峰，高Q峰处伴随着剧烈的相位突变，且相位突变曲线将随着外界折射率改变而发生漂移。基于本发明可实现高灵敏的热控相位调制，从而实现空间光调制器的功能，可用于光通信、显示与成像、光信号处理、自动驾驶、微波信号处理等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 波长 光栅 表面 相位 调制器 | ||
【主权项】：
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