[发明专利]一种过渡金属硫化物大面积连续薄膜覆盖率的检测方法在审
| 申请号： | 202010783266.3 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN111896521A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 张颖;兰飞飞;杨丹丹;王军山 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N21/84 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种过渡金属硫化物大面积连续薄膜覆盖率的检测方法，采用微分干涉显微镜明确大面积连续膜的检测区域，采用配置LabSpec测试软件的拉曼光谱仪检测整个区域，设定扫描区域的坐标和光斑移动步长，逐点面扫描，得到过渡金属硫化物连续膜的面扫描拉曼光谱，用双线夹取特征峰所对应的X轴方向的坐标位置，自动计算特征峰与X坐标轴之间夹取区域的区域面积，根据区域面积生成面扫描图像，黑色区域即为无特征峰、是面积不连续的区域，总区域的面积减去不连续的区域总面积与总区域的面积比值，即为连续膜的覆盖率。效果是，能够大大降低检测时间，且能够直观、准确的提供整个扫描区域连续膜的覆盖情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过渡 金属 硫化物 大面积 连续 薄膜 覆盖率 检测 方法 | ||
【主权项】：
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