[发明专利]形状的评价方法、部件的制造方法以及形状的评价系统

摘要

本发明提供能够以简单的设备高精度地评价被测量面的形状的形状的评价方法以及形状的评价系统、使用了这种形状的评价方法的高精度的部件的制造方法。形状的评价方法具备如下工序：将对象物的被测量面的形状以在第一方向上邻接的一对测量区域具有重复区域的方式进行局部测量，取得每个所述测量区域的测量数据；针对每一个所述测量区域的计算出从所述测量数据中去除了与所述第一方向交叉的第二方向上的形状的变动后的所述第一方向上的形状的代表数据；以及以在沿所述第一方向邻接的一对所述代表数据中所述重复区域的形状差成为最小的方式连接多个所述代表数据，合成所述被测量面的整体的形状数据。