[发明专利]一种生产石墨烯的装置及利用该装置生产石墨烯的方法

摘要

本发明提出一种生产石墨烯的装置及利用该装置生产石墨烯的方法，包括空腔体、基板、减压部件、供气单元和主加热单元，空腔体两侧的下方设有减压部件，主加热单元内侧的包含空间内设有辅助加热单元，辅助加热单元包括第一辅助加热部件和第二辅助加热部件，先利用减压部件将空腔体内空气排出并放置基板，供气单元供气氛围气体和含碳气体，再利用主加热单元进行加热合成生产石墨烯；本发明通过辅助加热单元的可以将主加热单元散发的热能吸收，辅助加热单元的温度可以均匀升高为加热空间内的基板进行加热，石墨烯合成所需的温度可以在短时间内形成，有利于合成生产大面积的石墨烯，可以减少石墨烯合成后的冷却时间，可以提高生产效率。