[发明专利]一种电子级吡唑水溶液及其制备方法

摘要

本发明是一种电子级吡唑水溶液及其制备方法。该吡唑水溶液中Na+、Mg2+、K+、Ca2+、Cu2+、Zn2+、Ni2+、Cr3+，Al3+、Fe3+等金属离子含量低于50 ppb，吡唑含量≥10%。本方法通过离子膜电解和离子交换树脂的组合工艺达到对吡唑水溶液的提纯，其中离子膜电解槽中加入离子交换树脂用以增强溶液的导电性和辅助脱除金属离子。阳极室吡唑原液中的一部分金属离子在电场力作用下由阳极室迁移到阴极室，还有一部分离子被电解槽内离子树脂吸附，最终在阳极室得到电子级吡唑水溶液。该电子级吡唑水溶液可用于超大规模集成电路或屏幕显示器等微电子工业所用化学清洗液的溶剂。