[发明专利]超硬纳米复合涂层的制备PVD设备、方法及层结构在审
| 申请号： | 202010792172.2 | 申请日： | 2020-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN111826626A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 赵俊亮;李恒;彭占杰 | 申请（专利权）人： | 南京纳弧新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 曹利华 |
| 地址： | 210012 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供超硬纳米复合涂层的制备PVD设备、方法及层结构。本发明提供了超硬纳米复合涂层的制备PVD设备，其通过总供电线路供电，复合PVD设备包括：一个壳体、一个工件架、一个离子源、一个分子泵、一个阴极电弧金属镀膜模块、一个阴极磁控溅射金属镀膜模块、一个阴极电弧石墨镀膜模块、一个阴极磁控溅射石墨镀膜模块。该PVD设备在一个真空镀膜室内集成多个磁控阴极、电弧阴极以及离子源，实现多种镀膜工艺集成，从而可以开发多种膜层复合的新型涂层材料。本发明中的超硬纳米复合涂层的制备方法，可制备多层过渡层，以及多层不同硬度的金刚石膜层复合制备超硬类金刚石涂层，硬度高、耐热性好。本发明中还提供了超硬纳米复合涂层的层结构。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 复合 涂层 制备 pvd 设备 方法 结构 | ||
【主权项】：
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