[发明专利]不锈钢表面沉积TiNx

摘要

本发明为不锈钢表面沉积TiNxOy涂层双极板材料及其制备方法与应用。一种表面改性的304不锈钢双极板材料，所述表面改性的304不锈钢双极板材料的制备方法为：以304不锈钢为基体，使用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术基体表面沉积TiNxOy涂层，获得耐腐蚀性高的薄膜不锈钢双极板。以及所述表面改性的304不锈钢双极板材料应用于质子交换膜燃料电池双极板。本发明的涂层不仅生产成本低、生产周期较C涂层短、涂层表面具有超高硬度、超高弹性模量,同时具有较金属氮化物更好的耐蚀性且具有良好的导电性能，能够满足质子交换膜燃料电池双极板美国DOE 2025应用标准。