[发明专利]一种混合栅场效应管及制备方法、开关电路在审
| 申请号： | 202010795268.4 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN114078957A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 罗睿宏;黄伯宁;孙辉;蒋其梦;包琦龙;陈智斌 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/45;H01L29/47;H01L21/335;H01L29/778;H01L29/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 周云 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种混合栅场效应管及制备方法、开关电路，混合栅场效应管包括沟道层，以及与沟道层层叠设置的源极、漏极和栅极结构。栅极结构采用混合栅结构，其由两种材质制备而成。栅极结构包括第一结构层和第二结构层。第二结构层包裹第一结构层，第一结构层为N型氮化镓层或本征氮化镓层；第二结构层为P型氮化镓层。栅极金属层设置在栅极结构背离沟道层的一侧，且栅极金属层与第一结构层可通过欧姆接触。由上述描述可看出，通过栅极结构采用混合栅结构的方式，栅极结构采用两种不同材料制备而成，且位于混合栅中间位置的材料可与栅极金属层实现欧姆接触，从而改善了栅极金属层与栅极结构连接的可靠性，进而提高了混合栅场效应管的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 场效应 制备 方法 开关电路 | ||
【主权项】：
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