[发明专利]一种光热反射测温方法及装置有效
| 申请号： | 202010797316.3 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN112097949B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 翟玉卫;刘岩;李灏;乔玉娥;吴爱华;丁晨;刘霞美 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 祁静 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： |
本发明适用于微电子测温技术领域，提供了一种光热反射测温方法及装置，所述方法包括：控制被测件处于预设初始温度，采集被测件此时的反射率，得到第一反射率；控制被测件的温度升高ΔT |
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| 搜索关键词： | 一种 光热 反射 测温 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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