[发明专利]一种相变存储器件及其制造方法、操作方法有效
申请号: | 202010797732.3 | 申请日: | 2020-08-10 |
公开(公告)号: | CN111969105B | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 潘绪文 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H10N70/20 | 分类号: | H10N70/20;H10B63/10;G11C13/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 |
地址: | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种相变存储器件及其制造方法、操作方法,包括位于衬底上的第一电极、围绕第一电极的加热电极、围绕加热电极的相变层、和围绕相变层的第二电极,由于相变层包裹加热电极,相变时散热小,具有更高的能量转换率,可以减小能耗。而且加热电极接地,在相变层与加热电极发生体积分离时可以导通辅加热路线,进而可以增加操作的可靠性、以及器件性能的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 相变 存储 器件 及其 制造 方法 操作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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