[发明专利]一种相变存储器件及其制造方法、操作方法有效

专利信息
申请号: 202010797732.3 申请日: 2020-08-10
公开(公告)号: CN111969105B 公开(公告)日: 2023-08-08
发明(设计)人: 潘绪文 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H10N70/20 分类号: H10N70/20;H10B63/10;G11C13/00
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 杨艇要
地址: 430205 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种相变存储器件及其制造方法、操作方法,包括位于衬底上的第一电极、围绕第一电极的加热电极、围绕加热电极的相变层、和围绕相变层的第二电极,由于相变层包裹加热电极,相变时散热小,具有更高的能量转换率,可以减小能耗。而且加热电极接地,在相变层与加热电极发生体积分离时可以导通辅加热路线,进而可以增加操作的可靠性、以及器件性能的稳定性。
搜索关键词: 一种 相变 存储 器件 及其 制造 方法 操作方法
【主权项】:
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