[发明专利]边缘抛光装置和抛光方法有效
| 申请号： | 202010800000.5 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111922888B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 李昀泽 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种边缘抛光装置，包括本体、驱动组件和抛光头，本体包括环形支架，环形支架上延其周向固定有多个抛光头，驱动组件用于控制本体旋转以带动抛光头旋转对晶圆边缘进行抛光，抛光头包括抛光盘，抛光盘通过一连接结构连接于环形支架上，连接结构包括沿着环形支架的周向方向延伸设置的滑轨，抛光头可移动的设置于滑轨上，且抛光头和滑轨的一端连接有弹性位移传感器，用于感应抛光头在滑轨上的移动距离；驱动组件包括处理单元，用于根据弹性位移传感器的信号获取抛光头与晶圆之间的摩擦力，并发送控制信号；驱动组件还包括执行单元，用于根据控制信号调节本体的转速，以调节抛光头对晶圆施加的压力，以保持抛光速率恒定。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
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