[发明专利]负型光刻胶树脂及其制备方法和负型光刻胶有效
| 申请号： | 202010804728.5 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN112011031B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 彭忠;王卫国;缪培凯;凌云剑;符饶生;杨波;吕国强;李平 | 申请（专利权）人： | 湖南松井新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C08G59/14 | 分类号： | C08G59/14;G03F7/038;G03F7/027 |
| 代理公司： | 长沙智嵘专利代理事务所(普通合伙) 43211 | 代理人： | 李婷婷 |
| 地址： | 410600 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种负型光刻胶树脂及其制备方法和负型光刻胶树脂，包括以重量份计的：单分子固体环氧树脂20份～40份、丙烯酰氧基多亚甲基羧酸15份～35份、酸酐10份～30份、高沸点溶剂10份～25份、阻聚剂0.08份～0.2份、催化剂0.1份～0.3份。本发明的负型光刻胶树脂，以单分子固体环氧树脂为主体树脂，主体树脂在改性的规程中采用的都是单分子物质进行反应，最终获得的负型光刻胶树脂也为单分子树脂，从而保证所有的负型光刻胶树脂具有相同的光固化灵敏性和显影速度。而且，单分子固体环氧树脂的表干性和显影性好，可以显著提高负型光刻胶的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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C08G59-02 .每分子含有1个以上环氧基的缩聚物
C08G59-14 .用化学后处理改性的缩聚物
C08G59-18 .每个分子含有1个以上环氧基的化合物，使用与环氧基反应的固化剂或催化剂聚合得到的高分子
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