[发明专利]一种防护紫外激光损伤晶圆的临时键合胶材料在审
| 申请号： | 202010806082.4 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN111909638A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 张国平;李绪军;孙蓉;刘强;孙德亮 | 申请（专利权）人： | 深圳先进电子材料国际创新研究院 |
| 主分类号： | C09J123/16 | 分类号： | C09J123/16;C09J123/08;C09J11/04;C09J11/06 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈 |
| 地址： | 518103 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及胶粘剂技术领域，公开了一种用于薄晶圆加工的防护紫外激光损伤晶圆的临时键合胶材料，所述临时键合胶材料由以下重量份数的原料制成：25‑45份聚合物基体树脂，0‑5份增粘树脂，0.2‑2份耐高温抗氧剂，0‑0.3份流平剂，0.2‑5份吸光材料，0‑5份反光材料，55‑75份溶剂。本发明通过提高临时键合胶层的紫外激光吸光度，降低紫外激光透过率来更好的保护晶圆表面免收损伤，本发明可有效防止紫外激光透过临时键合材料损伤器件晶圆表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防护 紫外 激光 损伤 临时 键合胶 材料 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳先进电子材料国际创新研究院，未经深圳先进电子材料国际创新研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010806082.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：路况共享的方法、系统、服务器及存储介质
- 下一篇：一种可变桌面的折叠式桌子
